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  • SL1000型输送设备


     

    产品样本下载链接:


     

    SL1000 是一种专门用于ALD/CVD工艺中前驱体的储存、使用和净化的系统设备。

      主要应用于:
  • BPSG processes:TEOS、TEPO、TEB
  • Low-k dielectrics:4MS、DMDMOS、TMCTS、OMTCS、DMPS
  • High-k dielectrics:TMA、TDMAS
  • Low-T SiN:HCDS、BTBAS
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      系统特性(Specification) :
     
  • 采用PLC控制,10彩色触摸屏为人机界面;
  • 可通过以太网端口(可选项)与其它主机系统进行通信;
  • 专有的工艺气体冲洗程序保证了每次吹扫过程能够有效的清除工艺液体在管线内的存留,既保证了操作人员的安全,又确保了输送源的纯度;
  • 通过触摸屏详细的显示了实际阀门(动态阀门)状态和压力状态;
  • 4 个用户可定义的密码保护等级,可为不同用户提供各自的操作权限;
  • 供液、准备、手动和停机四种模式可满足各种情况下连续性供应的要求;
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